Методы измерения точности формы рабочих поверхностей оптических деталей (сферы, плоскости) (стр. 2 из 2)
На черт. 2а показана поверхность, имеющая “яму” в центре и завал по краю.
При настройке на полосы кольцевой формы (черт. 2б) частота полос меняется не монотонно.
Незамкнутые полосы имеют волнистую форму, повторяющую в масштабе профиль поверхности в этом сечении, где проходит наблюдаемая полоса (черт. 2в).
Черт. 2
На черт. 2 показана поверхность с “бугром” в центре, “ямой” между центром и краем и приподнятым краем. Интерференционная картина для данной поверхности идентична, показанной на черт. 2. Действительный профиль поверхности определяется путем нахождения положения клина.
Черт. 3
2.3 . ОШИБКА АССИМЕТРИЧНОГО ХАРАКТЕРА (ПОВЕРХНОСТЬ С ОДНОЙ ОСЬЮ СИММЕТРИИ)
На черт. 4а показана поверхность, имеющая один край приподнятый, другой заваленный. Вид от нее интерференционных картин показан на рисунках:
4б – замкнутые полосы,
4в – полосы вертикального направления,
4г – полосы горизонтального направления.
Черт. 4
2.4. ПОВЕРХНОСТЬ, НЕ ИМЕЮЩАЯ ОШИБОК
На черт. 5 показана интерференционная картина, полученная от поверхности с такой малой ошибкой, что ею можно пренебречь.
Черт.5
Для этого, интерференционную картину настраивают на желаемое направление полос. Затем с помощью лупы взаимное положение автоколлимационных изображений точки F, полученных от рабочего и опорного пучков. Ребро клина располагается перпендикулярно линии, соединяющей указанные изображения, причем со стороны изображения от образцовой поверхности. После определения положения ребра клина знак ошибки определяют как указано выше.
Для определения знака ошибки поверхности в условиях вибраций рекомендуется один из следующих способов:
Настраивают интерференционную картину так, чтобы полосы занимали горизонтальное положение, затем под нижнюю часть рабочего пучка вводят предмет, нагретый да температуры 100-3000 С.
Поток нагретого воздуха называют искривление полос подобное “бугру” на поверхности, искривление в противоположном направлении соответствует “яме” (способ 1).
Рассматривают только предфокальную интерференционную картину, где общее искривление полос всегда соответствует “бугру” на поверхности (черт. 8а).
Если направление искривления интерференционных полос при определении местной ошибки совпадает с общим искривлением полос, то это соответствует “бугру” на поверхности (черт. 8б), местное искривление интерференционных полос в противоположном направлении (черт. 8в) соответствует “яме” (способ 2).
Черт.8
ОПРЕДЕЛЕНИЕ ЗНАКА ОШИБКИ ПОВЕРХНОСТИ
3.1. ОПРЕДЕЛЕНИЕ ЗНАКА ОШИБКИ ПЛОСКОЙ ПОВЕРЗНОСТИ
Находят положение ребра клина между проверяемой и образцовой поверхностями. Для этого производят легкий нажим на край стола вверх или вниз вблизи точки А или Б (черт. 1).
Черт.1
Например, если при нажиме вниз ширина полос уменьшается, то это означает, что ребро клина находится на стороне, противоположной точке нажима. Нажим вверх приводит в этом случае к расширению полос.
Определяют знак ошибки. Поверхность имеет яму, если выпуклость дуг или местные изгибы полос направлены в сторону ребра клина. Если указанные искривления полос направлены в сторону, противоположную ребру клина, проверяемая поверхность имеет бугор.
Пример. На черт. 1 ребро клина расположено в точке В. Следовательно, поверхность имеет яму.
Если в направлении линии АВ интерферометр дает перевернутое изображение, то знак ошибки будет противоположным указанному выше.
3.2. ОПРЕДЕЛЕНИЕ ЗНАКА ОШИБКИ СФЕРИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ
Определяют положение ребра клина, образуемого интерференционными волновыми фронтами, черт. 2.
ЛИТЕРАТУРА
1. Малов А.Н., Законников Обработка деталей оптических приборов. Машиностроение, 2006. - 304 с.
2. Бардин А.Н. Сборник и юстировка оптических приборов. Высшая школа, 2005. - 325с.
3. Кривовяз Л.М., Пуряев Д.Т., Знаменская М.А. Практика оптической измерительной лаборатории. Машиностроение, 2004. - 333 с.