Электролитические и оптические методы контроля РЭСИ (стр. 3 из 3)

Толщина пленки и концентрация носителей заряда рассчитывается по зависимости:

где d – толщина пленки;

n – концентрация носителей заряда.

Оптические методы контроля обладают высокой разрешающей способностью и хорошей чувствительностью и позволяют перейти от традиционного использования зрительного рецептора оператора к автоматическим методам обработки изображения и использованию полученной информации в процессах испытания РЭСИ.

Рисунок 11 – Номограммы ши А для приближенного определения

показателей преломления n и толщины d эпитаксиальных пленок

Рисунок 12 – Номограммы для определения толщины пленок

Рисунок 13 – Спектральная зависимость показателя преломления с различной концентрацией свободных носителей от длины волны падающего излучения 1 – N=10¹⁸ см³; 2 – N=10¹⁹ см³

ЛИТЕРАТУРА

1. Глудкин О.П. Методы и устройства испытания РЭС и ЭВС. – М.: Высш. школа., 2001 – 335 с

2. Испытания радиоэлектронной, электронно-вычислительной аппаратуры и испытательное оборудование/ под ред. А.И.Коробова М.: Радио и связь, 2002 – 272 с.

3. Млицкий В.Д., Беглария В.Х., Дубицкий Л.Г. Испытание аппаратуры и средства измерений на воздействие внешних факторов. М.: Машиностроение, 2003 – 567 с

4. Национальная система сертификации Республики Беларусь. Мн.: Госстандарт, 2007

5. Федоров В., Сергеев Н., Кондрашин А. Контроль и испытания в проектировании и производстве радиоэлектронных средств – Техносфера, 2005. – 504с.