Таким образом, подставляя исходные данные в формулы (3) – (5) получаем следующее:
; ; ; ; .Определим среднее значение и половину поля рассевания относительной погрешности сопротивления, вызванное старением резистивного материала по формулам:
(7); (6),где
- среднее значение коэффициента старения резистивной пленки сопротивления. - половина поля рассеяния коэффициента старения сопротивления резистивной пленки. ; (7). ; (8).Таким образом, получаем следующее:
(9); (9); ; (10)Определим допустимое значение случайной составляющей поля рассеяния суммарной относительной погрешности сопротивления по следующей формуле:
; (11)где:
, ,Положив МRПР = 0, тогда:
; (12)Определим допустимое значение случайной составляющей поля рассеяния производственной относительной погрешности сопротивления по следующей формуле:
(13)Подставим вычисленные выше значения в данную формулу, получим:
Определим допустимое значение случайной составляющей поля рассеяния производственной относительной погрешности коэффициента формы, по следующей формуле:
(14)Подставим значения и получим:
Определим расчетное значение коэффициента форм резистора:
(15)Определим ширину резистивной пленки:
мм. мм. (16) мм. мм.(17) мм. мм. (18)Определим сопротивление контактного перехода резистора:
(19) (20)Проверим следующее условие:
(21)Определим длину резистора:
мм. мм.(22)Теперь определим среднее значение коэффициента формы:
(23)
Определим среднее значение МRПР и половину поля рассеяния dRПР относительной производственной погрешности:
(24) % (24) (25) (26) (27)Определим граничные условия поля рассеяния относительной погрешности сопротивления резистора:
% % (28) % (29) % (30)Определяем длину резистивной пленки и площадь резистора:
мм. мм2. (31)Определим коэффициент нагрузки резистора:
(32) (33)Подобно этому расчету рассчитываем остальные резисторы, а результаты заносим в таблицу №1.
Таблица №1
Резисторы | L,мм | b, мм | S, мм | P, мВт |
R1, R10 | 2.6 | 0.2 | 0.52 | 0.22 |
R2 | 1.7 | 0.2 | 0.34 | 0.17 |
R3 | 1.2 | 0.2 | 0.24 | 0.06 |
R4, R7 | 3.2 | 0.2 | 0.64 | 0.32/0.39 |
R5 | 0.9 | 0.35 | 0.315 | 0.11 |
R6 | 0.55 | 0.7 | 0.385 | 0.26 |
R8 | 0.4 | 0.65 | 0.26 | 0.19 |
R9 | 0.75 | 0.2 | 0.15 | 0.35 |
Конденсаторы являются широко распространенными элементами гибридных микросхем. Пленочный конденсатор представляет собой последовательно нанесенные на подложку и друг на друга пленки проводника и диэлектрика. Такая конструкция пленочных конденсаторов делает их более сложными элементами микросборок по сравнению с резисторами.
Применение многослойных конденсаторов с большим числом обкладок приводит к усложнению технологии, снижению надежности, электрической прочности конденсаторов и повышение их стоимости. Поэтому в пленочных микросборках в основном применяются лишь трехслойные конденсаторы. Все характеристики пленочных конденсаторов зависят от выбранных материалов. Диэлектрическая пленка должна иметь высокую адгезию к подложке и металлическим обкладкам, обладать высокой электрической прочностью и малыми диэлектрическими потерями и многими другими требованиями и характеристиками.