Установка вакуумного напыления пленок работает при разрежении воздуха в объеме рабочей камеры порядка до 10-7мм.рт. ст.
Электропитание установки ведется от сети с напряжением, равным 380В. Для питания катода узла напыления применяется напряжение свыше 1000В.
Все виды насосов для получения вакуума (механические, диффузионные) в процессе эксплуатации должны удовлетворять следующим требованиям:
· размещаться в оборудовании или за его пределами так, чтобы обеспечивать их безопасное и удобное обслуживание;
· вращающиеся части насоса должны быть ограждены металлической сеткой или кожухом;
· выхлоп откачной системы оборудования должен быть направлен за пределы помещения.
К обслуживанию и самостоятельной работе на установках допускаются лица:
· достигшие восемнадцатилетнего возраста;
· прошедшие медицинский осмотр и не имеющие противопоказаний по результатам медицинского осмотра для работы с электрорадиоэлектронным оборудованием;
· прошедшие инструктаж по безопасности труда на рабочем месте;
· прошедшие проверку знаний по охране труда при управлении установкой вакуумного напыления и имеющие квалификационную группу по безопасности труда.
При обслуживании установки возможны следующие виды опасности:
· электроопасность;
· пожароопасность;
· термоопасность;
· травмирование;
· ожог жидким азотом.
· Источником электроопасности являются неисправная электропроводка и отсутствие надежного заземления установки, открытые токоведущие части, неисправная блокировка.
· Источником пожароопасности являются этиловый спирт при наличии искры или огня на рабочем месте.
· Источником термоопасности являются нагреватели паромасляного насоса, горячие детали рабочих камер.
· Источником травмирования являются приводы вращения карусели и механических насосов, съемные крышки рабочих камер.
· Источником ожогов являются жидкий азот. Температура кипения жидкого азота равна минус 1960С, поэтому он может вызвать обморожение кожи и поражение слизистой оболочки глаз.
· Во избежание электроопасности необходимо соблюдать следующие требования:
· все операции по загрузке (выгрузке) изделий выполнять только после снятия напряжения с токоведущих частей рабочей камеры;
· включение и отключение установки проводить отжатием кнопки выключение сети, размещенных на пультах управления установкой.
Во избежание термоопасности не касаться незащищенными руками нагретых узлов установки (нагревателей паромасляных насосов, нагретых деталей рабочей камеры).
Во избежание травмирования не касаться привода вращения карусели. Привод механического насоса должен быть закрыт кожухом.
Приемы освобождения пострадавшего от электрического тока до 1000В.
Отключить установку с помощью отжатия кнопки выключение сети или с помощью ближайшего штепсельного разъема выключателя (рубильника).
В случае отдаленности выключателя перерубить или перерезать провод (каждый в отдельности) топором или другим режущим инструментом с сухой рукояткой из изолирующего материала.
При невозможности быстрого разрыва электрической цепи оттолкнуть пострадавшего от провода за концы одежды или отбросить сухой палкой.
При этом обязательно принять меры предосторожности:
· одеть резиновые перчатки или обернуть руки сухой тряпкой;
· положить под ноги себе изолирующий предмет (сухая доска, резиновый коврик, свернутая сухая одежда);
· при отделении пострадавшего от токоведущих частей действовать одной рукой;
· в случае опасности, грозящей аварией или несчастным случаем, работающий обязан уведомить администрацию (мастера, начальника цеха, технолога);
· при получении травмы работу прекратить, оказать помощь пострадавшему;
· меры первой помощи пострадавшему при поражении электрическим током и порядок обращения за медицинской помощью:
· сообщить в медпункт и быстро определить состояние пострадавшего;
· уложить пострадавшего на спину или на твердую поверхность и расстегнуть стесняющую дыхание одежду;
· проверить по подъему грудной клетки сохранилось ли у пострадавшего дыхание;
· проверить наличие пульса (на лучевой артерии у запястья или на сонной артерии на передне-боковой поверхности шеи);
· проверить состояние зрачков (узкий или широкий), широкий не подвижный зрачок указывает на отсутствие кровообращения мозга;
· если пострадавший в сознании уложить его удобное положение и до прибытия врача обеспечить полный покой, наблюдая за дыханием и пульсом.
· если пострадавший потерял сознание, но у него сохранилось устойчивое дыхание и пульс, обеспечит приток свежего воздуха и полный покой. Давать пострадавшему нюхать нашатырный спирт и обрызгивать водой.
· если пострадавший плохо дышит (редко, судорожно, всхлипыванием), необходимо приступить к искусственному массажу сердца.
Перед началом работы проверить исправность действия защитных устройств (блокировок, механических заземлителей) рабочей камеры. Исправность их действия определяется не менее чем по двум признакам:
· по показаниям измерительных приборов;
· по сигнальным лампам.
· Рабочее место необходимо содержать в чистоте и порядке. На рабочем месте не должно быть лишних предметов. Разрешается иметь только тот инструмент, приборы, расходный материал, которые необходимы для работы.
· Приборы на рабочем месте должны быть установлены так, чтобы провода не пересекали проводов.
· Проходы к щитам электропитания, к пульту управления установкой должны быть свободны.
· На панелях и пультах управления должна быть световая сигнализация, а также соответствующие надписи всех органов управления.
· На всех розетках должна быть указана величина питающего напряжения.
· При неисправностях на установке (о чем свидетельствует запись наладчика в рабочем журнале на установку) к работе не приступать, сообщить мастеру участка.
· Требования безопасности при аварийных ситуациях:
· При аварийных ситуациях, связанных с поражением электрического током необходимо принять меры по освобождению пострадавшего от электрического тока.
· сообщить мастеру.
· В зависимости от состояния пострадавшего обратиться к врачу.
5.2 Пожарная безопасность
На предприятиях электронной промышленности применяется большое количество легковоспламеняющихся и взрывоопасных веществ. Все виды работ с легковоспламеняющихся веществами должны вестись в отдельных помещениях, оборудованных приточно-вытяжной вентиляцыей, в металлических вытяжных шкафах. В этих помещениях запрещается иметь ЛВЖ, ГЖ, горючие материалы, а также курить. На видных местах должны быть вывешены плакаты типа: «Не зажигать огня,» «Взрывоопасно,» «Не ударять.» Причины пожара могут быть неэлектрического и электрического характера.
Неэлектрического – к ним относятся неправильное устройство и эксплуатация котельных, печей, отопительных приборов, неосторожное обращение с огнем, самовозгарание. Чтобы исключить эти причины, обучать персонал, правильно эксплуатировать машины, оборудование.
Электрического – к ним относятся короткое замыкание, перегрузка, большое переходное сопротивление, статическое электричество. Для предупреждения этих причин нужно правильно подобрать марку и сечение проводов, изоляцию, проводить профилактические ремонты и осмотр оборудования.
В случае возникновения пожара необходимо немедленно отключить вентиляцию, нагревательные приборы, оборудование; убрать стоящие вблизи пламени ЛВЖ и ГЖ; применять наиболее эффективные для данного случая средства пожаротушения (накрыть пламя кошмой или асбестовым одеялом, применить огнетушители); сообщить о пожаре в пожарную часть (01).
Список литературы
1. Панфилов Ю.В., Рябов В.Т., Цветков Ю.Б. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные работы. – М.: Радио и связь, 1988.
2. Малышева И.А. Технология производства интегральных микросхем. – М.: Радио и связь, 1991.
3. Курносов А.И. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. – М.: Высшая школа, 1980.
4. Николаев И.М. Оборудование и технология производства полупроводниковых приборов. – М.: Высшая школа, 1977.
5. Парфенов О.Д. Технология микросхем. – М.: Высшая школа, 1986.
6. Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых
приборов и интегральных микросхем. – М.: Высшая школа, 1986.
7. Минайчев В.Е. Нанесение пленок в вакууме. – М.: Высшая школа, 1989.
8. Чернышёв А.А. Основы надежности полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. – М.: Радио и связь, 1988.
9. Готра З.Ю., Николаев И.М. Контроль качества и надежности микросхем. – М.: Радио и связь, 1989.