Похибка коефіцієнта форми залежить від похибок геометричних розмірів (довжини
і ширини ) резистора: (2.3)Похибка відтворення питомого поверхневого опору
залежить від умов напилювання і матеріалу резистивної плівки. В умовах серійного виробництва її значення не перевищує 5%.Температурна похибка залежить від ТКО матеріалу плівки:
, (2.4)
де
- ТКО матеріалу плівки, 1/oС або 1/K.Похибка
обумовлена старінням плівки за рахунок повільної зміни структури плівки з часом і її окислювання. Вона залежить від матеріалу плівки та ефективності захисту, а також від умов зберігання і експлуатації.де
– час; - коефіцієнт старіння плівкового резистора, що визначає тимчасову нестабільність його опору.Похибка
сплаву РС-3001 становить ±0,5%Похибка перехідних опорів контактів
визначається технологічними умовами напилювання плівок, питомим опором резистивної плівки і геометричними розмірами контактного переходу: довжиною перекриття і шириною резистора. Її значення Якщо матеріал контактних площадок обраний відповідно до табличних даних, то цією похибкою можна знехтувати.Значення похибок для даного випадку знаходяться у таблиці 2.2
Допустима похибка коефіцієнта форми:
(2.6)
Таблиця 2.2
0,15 | -2,60E-03 | 0,005 | 0,02 | 0,005 |
Оскільки отримане значення не є від’ємним, то можемо продовжувати розрахунки.
Визначаємо коефіцієнт форми:
R1 | 1,5 |
R2 | 1 |
R3 | 1 |
При
рекомендується конструювати резистор прямокутної форми типу “смужка”, у якого довжина більше ширини .Спочатку визначаємо мінімальну ширину резистора, використовуючи умову:
, (2.8)де
- мінімальне значення ширини резистора, обумовлене технологічними можливостями виготовлення; - мінімальне значення ширини резистора, що забезпечує задану точність виготовлення; - мінімальне значення ширини резистора, що забезпечує задану потужність розсіювання.Мінімальне значення ширини резистора
знаходимо за формулою:Мінімальне значення ширини резистора
розраховуємо за формулою: (2.10)За ширину резистора
приймаємо найближче до значення, кратне кроку координатної сітки, прийнятому для креслення топології з урахуванням масштабу. Для тонкоплівкової технології крок координатної сітки звичайно становить 1 або 0,5 мм (у даному випадку, якщо крок 1 мм, масштаб 20:1, то округлення роблимо до розміру, кратного 0,05 мм).Розрахункову довжину резистора визначаємо за формулою:
(2.11)За довжину
резистора приймаємо найближче до більше ціле значення, кратне кроку координатної сітки, прийнятому для креслення топології з урахуванням масштабу.Визначаємо повну довжину резистора з урахуванням перекриття контактних площадок. Для резистора, виготовленого масковим методом, вона буде дорівнювати:
, (2.12)
де
- розмір перекриття резистивної плівки контактною площадкою.Потім визначаємо площу, яку займає резистор на підкладці.
(2.13)
Результати розрахунків:
Таблиця 2.8
, м | , м2 | , мм2 | ||||||
R1 | 0,0001 | 0,000135501 | 0,001402 | 0,00145 | 0,002175 | 0,002375 | 3,4438E-06 | 3,44375 |
R2 | 0,0001 | 0,000162602 | 0,000592 | 0,0006 | 0,0006 | 0,0008 | 0,00000048 | 0,48 |
R3 | 0,0001 | 0,000162602 | 0,000187 | 0,0002 | 0,0002 | 0,0004 | 0,00000008 | 0,08 |
Для перевірки знаходимо дійсну питому потужність і похибку резистора. Резистор спроектований задовільно, якщо:
- питома потужність розсіювання
не перевищує припустиме значення : ; (2.14)- похибка коефіцієнта форми не перевищує припустиме значення:
; (2.15)- сумарна похибка не перевищує допуск:
(2.16)Розрахунки на основі вищевказаних формул проведені в електронній таблиці Excel та перевірені за допомогою програми, написаної на мові Borland C++ 5.02, роздруківка якої наведена у додатку 3.