Широкоугловая съемка
Благодаря своей системе сканирования столиком, JAMP-7810 дает возможность проводить Оже-анализ и получать изображения во вторичных электронах с площадей вплоть до 20мм*20мм, что недостижимо при сканировании зондом.
Программирование проведения анализа
Эта программа объединяет «команды контроля системы» с функциями программирования на языке Си, что расширяет аналитические возможности прибора. Предварительное программирование аналитических процедур, включающее в себя систему контрольных команд и другие команды (обсчет, условия, повтор и т.д.) дает возможность автоматизации измерений.
Профилирование по глубине
Профилирование по глубине, наиболее часто используемое в Оже-анализе, является техническим средством для получения распределения элементов по глубине образца посредством повторных измерений интенсивности Оже-электронов в определенном диапазоне энергий и ионного расссеяния. JAMP-7810 облегчает интерпретацию данных профилирования по глубине за счет одновременного вывода на дисплей всех спектральных данных в определенном энергетическом диапазоне. Кроме того, JAMP-7810 может выдавать данные по профилированию по глубине до 20 точек одновременно.
Профилирование по глубине с вращением
Образец можно вращать в процессе ионного рассеяния с целью минимизировать влияние поверхностных неоднородностей, а значит, сохранить высокое разрешение по глубине. Для измерения профилирования по глубине с вращением к гониометрическому столику дополнительно прилагается устройство вращения образца. Более того, контрольный столик с моторным приводом устраняет отклонения анализируемой точки посредством компьютерной коррекции центра вращения.
Расшифровка профиля по глубине
Зачастую в спектральных характеристиках пики перекрываются между собой, что приводит либо к низкому качеству профилирования по глубине, либо к полной невозможности осуществления данной операции. JAMP-7810 снабжен пакетом программ (Windows-распознаватель, FILTER-FIT и др.) на жестком диске для прочтения и обработки получаемых данных оптимальным образом.
Метод факторного анализа
Оже-электронные спектры часто имеют скрытые пики, поскольку ширина пиков и многочисленные переносы приводят к перекыванию. Метод факторного анализа используется для проявления таких скрытых пиков в спектре. Необходимые расчеты производятся с помощью программы MATLAB, включающей в себя специальную функцию.
Оже-электронные изображения поперечных срезов
При обычном анализе по глубине получаем распределение элементов в отдельно взятой точке, в то время как Оже-изображения поперечных срезов дают информацию вдоль линии среза.
Список литературы
Арапов Б.А. и др. Об одном пути усиления эффекта оже-деструкции в молекулярных системах. // Изв. вузов. Физика. - 2000.- т.43, N.1. - с.98-100.
Карлосон Т. А. Фотоэлектронная и Оже-спектроскопия. – Л.: 1981.
Кнунянц И.Л. Химический энциклопедический словарь. – М.: Советская энциклопедия, 1983, 397с.
Паралис Э.С. Эффект Оже. – Таш.: 1969.
Прохоров А.М. Физический энциклопедический словарь. – М.: Советская энциклопедия, 1983, 483–484с.
Розанов Л.Н. Вакууьная техника. – М.: Высшая школа, 1990.
Шульман А.Р., Фридрихов С.А, Вторично-эмиссионные методы исследования твердого тела. – М.: 1977.
Ivan P.Christov, Margaret M.Murane, and Henry C.Kapteyn. Phys.Rev.Lett., v.78, 1251 (1997).
M.Drescher, M.Hentschel, R.Kienberger et al., Science v.291 , 1923 (2001).
M.Drescher, M.Hentschel, R.Kienberger et al. Nature, v.419, 803 (2002).
Thomas Brabec and Ferenc Krausz. Rev.Mod.Phys., v.72, 545 (2000).
Еловиков С.С. Разрушение поверхности твердого тела медленными электронами // Соросовский Образовательный Журнал. 1999. № 10. С. 100 – 107.
Еловиков С.С. Оже-электронная спектроскопия // Там же. 2001. № 2. Том 7. С. 82 – 88.
Петров В.И. Катодолюминесценция полупроводников в узких электронных пучках в сканирующем электронном микроскопе // Там же. 1997. № 10. С. 126 – 132.