- стол для контроля
- склад исходных материалов (стеллажи)
- склад готовой продукции.
Все производственные помещения оборудованы общеобменной праточно-вытяжной вентиляцией.
Технологический процесс изготовления распыляемой мишени из хрома.
Распыляемая мишень из хрома предназначена для получения функциональных тонкопленочных структур в изделиях электроники, радиосвязи, для зашитно-декоративных покрытий и тонирования товаров широкого потребления. Используется в установках магнетронного катодного распыления.
Описание технологического процесса по операциям.
1. Сортировка чешуек производится на рабочем столе, покрытом полиэтиленовой пленкой, путем пересыпания и ручного отбора с использованием лопаток, совков, пинцетов и других ручных приспособлений и металлической или фаянсовой посуды. Все приспособления и посуда для сортировки должны быть обезжирены и обезвожены промывкой ацетоном и спиртом. Отбраковываются чешуйки, имеющие поверхность черного, серого или зеленого цвета. Отсортированные чистые чешуйки засыпаются в плотно закрывающуюся металлическую или керамическую тару.
2. Из отсортированного материала от каждой партии хрома берется проба, весом 40..50 гр. для проведения химического анализа на определение содержание примесей. Проба помещается в плотно закрывающуюся стеклянную или металлическую посуду и маркируется с указанием номера пробы, номера партии хрома и номера места данной партии.
3.
Рис.1 Оболочка
Рис.2 Крышка.
На эскизах даны размеры элементов оболочки для получения прутков максимального размера: диаметром 90 мм и длиной 190 мм.
Контроль геометрических размеров осуществляется с помощью штангенциркуля с погрешностью
0,05 мм.Термообработка элементов оболочки производится в вакуумной печи типа СШВЛ-1,25/25 при остаточном давлении не выше 0,06 Па (
мм.рт.ст.). Рекомендуемый режим термообработки элементов оболочки из стали 10, 20; температура (1050..1100)0С, время выдержки 1час.Контроль температуры отжига осуществляется с помощью термоэлектрического термометра градуировки ХА с потенциометром постоянного тока ПП-62 с погрешностью измерения
100С. Контроль остаточного давления в рабочем пространстве печи осуществляется вакуумметром ВИТ-2П с первичным преобразователем ПМИ-2 и МИ-10-2. Время контролируется с помощью часов любого типа.4. Подготовка прессинструмента и оснастки.
Для проведения операции холодного уплотнения подбираются прессинструмент и оснастка, имеющие геометрические размеры, соответствующие геометрическим размерам оболочки.
В качестве основного инструмента и оснастки используются: контейнер, пуасон, пяток-основание, крышка-вкладыш, втулка (см. рис.3).
В качестве вспомогательной оснастки используются: мерный совок из нержавеющей стали, лопатка из нержавеющей стали.
Рабочие поверхности пуансона, крышки-вкладыша и оснастки промываются ацетоном и спиртом, просушиваются на воздухе. На рабочую поверхность контейнера наносится равномерным тонким слоем смазка в виде размоченного в воде хозяйственного мыла.
Контроль геометрических размеров осуществляется с помощью штангенциркуля с погрешностью
0,05 мм.5. Холодное уплотнение осуществляется в следующем порядке (см.рис.3).
5.1. На стол пресса ПА-653 устанавливается пяток-основание, на него – контейнер.
5.2. На наружную поверхность оболочки наносится равномерным тонким слоем смазка в виде размоченного хозяйственного мыла.
5.3. Оболочка загружается в контейнер.
5.4. На оболочку сверху в контейнер устанавливается втулка.
5.5. В оболочку при помощи мерного совка засыпается порция хрома (250..300) гр. и разравнивается по горизонтальной плоскости лопаткой. Чтобы обеспечить наиболее плотную упаковку хрома и свободное извлечение пуансона после уплотнения высота столба засыпки в оболочку порции чешуек не должна превышать (40..50) мм или по весу (250..300) гр.
5.6. В оболочку вставляется пуансон и осуществляется рабочий ход пресса (80..100) кгс/см2.
5.7. Пуансон извлекается из оболочки и производится следующая засыпка по п.7.6.5. Операции по п.7.6.5.-7.6.5. повторяются до тех пор, пока поверхность уплотненного хрома не достигнет уровня на (3..4) мм ниже верхней торцевой плоскости оболочки.
5.8. Заполненная оболочка выпрессовывается из контейнера рабочим ходом пресса. Для заполнения следующей оболочки последовательность операций, начинается с п.7.6.2. повторяется.
Объем порции засыпки чешуек хрома подбирается опытным путем и измеряется при помощи меток на мерном совке.
Рис.3 Схема холодного уплотнения
1.Пуансон.
2.Чешуйки хрома.
3.Втулка (оболочка).
4.Контейнер.
5.Пяток-основание.
6.Стол пресса.
6. На заполненной хромом оболочке с обоих сторон изготавливаются посадочные места под крышку и буртики для сварного шва (см.рис.4).
Рис.4
1.Буртик под сварку.
2.Посадочное место под крышку.
3.Уплотненные чешуйки хрома.
4.Стальная оболочка.
а)по наружной поверхности :
Оболочка протачивается прямым проходным резцом по наружному диаметру в соответствии с диаметром контейнера для горячего компактирования зазором (1..1,5)мм на термическое расширение.
б)на внутренней поверхности:
На заполненной хромом оболочке с обоих сторон упорным резцом изготавливаются посадочные места под крышку
Операция механической обработки осуществляют на токарном станке типа 1К62.
Контроль геометрических размеров осуществляется при помощи штангенциркуля с погрешностью
0,05 мм.7. Герметизация оболочки осуществляется приваркой крышек к оболочке с двух сторон поочередно на электронно-лучевой установке типа ЭЛУ-2 при остаточном давлении в рабочей камере установки
мм.рт.ст.2)формирующий электрод
3)вольфрамовый катод
4)анод с центральным отверстием для пропускания луча к заготовки
5)диафрагма
6)краевые зоны луча
7)магнитные линзы
8)отклоняющая система
9)заготовка.
Сварной шов образуется за счет расплавления сопряженных буртиков на крышка и оболочке. Режим сварки: ток эмиссии (30..40)мА, угловая скорость вращения заготовки (12..15) об/мин. Контроль остаточного давления в рабочей камере установки осуществляется вакуумметром ВИТ-2П с первичным преобразователем ПМИ-2 и МИ-10-2ю
Контроль величины тока эмиссии осуществляется с помощью миллиамперметра, установленного на пульте управления установки.
Контроль угловой скорости вращения осуществляется с помощью шкалы на рукоятке управления вращением заготовки.
8. Контроль герметичности оболочки после сварки осуществляется на гелиевом течении ПТИ-7 по IV классу герметичности способом опрессовки гелием по ОСТ 5-0170-75 «Контроль герметичности металлических конструкций». Вакуумплотность должна быть не хуже 1в.
9. Смазка и нагрев заготовок. На предварительно обезжиренную поверхность заготовок кистью наносится слой графитовой смазки ЭЛП-В. Смазка просушивается на воздухе. Нагрев заготовок перед горячим компактированием до температуры (1150..1200)0С осуществляется в индукторе, на воздухе.
Температура нагрева заготовок контролируется оптическим пирометром типа «Проминь» с погрешностью
200С.10. Подготовка прессинструмента перед компактированием. Соответствующий размеру заготовки контейнер нагревается перед компактированием до температуры (400..500)0С в электропечи сопротивления типа Н-30, а заготовка нагревается в индукционной печи в вакууме до (900..950)0С. Температура контролируется термоэлектрическим термометром типа «ХА» с прибором КСПЗ-П.
В качестве смазки применяется: для смазки контейнера смазка типа «МС», а заготовка не смазывается.
11. Горячее компактирование.