Лазерная система для измерения статистических характеристик пространственных квазипериодических структур (стр. 7 из 10)

Применительно к рассматриваемому случаю выражение (5.27) с учетом (2.16) и (5.24) может быть представлено в виде

(5.28).

Полученное выражение (5.28) описывает форму электрического сигнала на выходе ФИС при сканировании энергетического спектра пространствен-ной структуры ЛЗ узкой щелевой диафрагмой. Из (5.28) видно, что форма выходного сигнала ФИС повторяет форму спектра с точностью до коэфи-циента пропорциональности, зависящего от размеров полевой диафрагмы ФИС и коэфициента

- масштаба КОС. Поэтому, измеряя амплитудно-временные параметры выходного электрического сигнала ФИС соответст-вующей аппаратурой, можно реализовать амплитудный метод контроля величины среднего квадратического отклонения ширины щелей в прост-ранственной структурк ЛЗ.

При амплитудном методе контроля с помощью КОС величины среднего квадратического отклонения

ширины щелей в пространственной струк-туре ЛЗ необходимо на выходе ФИС измерять величину амплитуд отдельных максимумов ее энергетического спектра на частотых . Тогда, подставив в (5.28) с учетом, что и выполнив ряд алгеб-раических преобразований можно показать, что амплитула ^-го максимума спектра, измеряемого на выходе ФИС, будет равна

(5.29), а использовав тож-дество (653.4) из [20], амплитуду ^-го максимума спектра представим в виде

(5.30).

Из формулы (5.30) видно, что действительно с увеличением порядкового номера

максимумов, амплитуда их резко убывает.

Кроме того, с увеличением параметров

либо , амплитуда макси-мумов спектра убывает по обратнопропорциональной гиперболической

тангенциальной зависимости. Поскольку в результате статистических исследований было установлено, что

является практически величиной постоянной [1] по сравнению с диапазоном измерений , то целесообраз-но рассматривать функциональную зависимость амплитуд максимумов спектра от параметра , приняв постоянным и равным 8 мкм.

Однако линейная зависимость амплитуд

максимумов спектра от освещенности пространственной квазипериодической структуры ЛЗ приведет к значительным погрешностям амплитудного метода контроля лишь абсолютных значений амплитуд максимумов спектра. Эти погреш-ности возникают из-за нестабильности выходной мощности излучения лазе-ра при температурных дрейфах его резонатора, которая достигает 20-30% от [19]. Поэтому, используя относительные измерения путем опреде-ления величины отношения амплитуд ^-го и ^-го максимумов спектра

(5.31),

можно избавиться от влияния временных флуктуаций выходной мощности излучения лазера.

Полученное выражение (5.31) является уравнением амплитудного мето-да контроля величины СКО

ширины щелей в пространственной структуре ЛЗ. В работе [1] показано, что для и функция являет-ся монотонно убывающей по мере увеличения . Однако крутизна измене-ния функции, характеризующая чувствительность метода, функционально зависит от соотношения номеров и , используемых для измерения максимумов. Поэтому для повышения чувствительности амплитудного мето-да контроля по алгоритму, описанному уравнением (5.31), необходима его оптимизация, т.е. выбор таких номеров и максимумов, при которых достигается максимальная чувствительность функции к изменению параметра . Согласно теории чувствительности [21, 22] - чувствитель-ность функции к изменению СКО выражается ее первой частной производной по параметру , т.е.

(5.32), а определив производные (5.30), которые равны

(5.33),

(5.34), и подставив (5.25), (5.33) и (5.34) в (5.32), а также выполнив ряд алгебраических преобразований, получим:

(5.35).

Анализ этого выражения выполнен в работе [1]. Получены следующие результаты:

· чувствительность

амплитудного метода контроля величины СКО при повышается при выборе ^-го максимума спект-ра как можно высшего порядка;

· с увеличением порядкового номера

, а также параметра амплитуды максимумов резко уменшаются.

Это может привести к значительным техническим сложностям измере-ний на фоне шумов, а также к снижению чувствительности измерительной системы.

Поскольку шумы на выходе ФИС и статические характеристики квазипе-риодической структуры ЛЗ являются взаимонезависимыми величинами, то выходной сигнал ФИС представляет собой аддитивную смесь шумов с полезным сигналом. Поэтому минимальное значение амплитуды

^-го макси-

мума энергетического спектра, которое может быть аппаратурно зарегист-рировано по выходному сигналу ФИС, достигается при

и должно быть в раз больше величины среднего квадратического напряжения шумов ее приемника, т.е.

(5.36), где - требуемый коэфициент отношения сигнал/шум выходного сигнала фотоприемника ФИС. Тогда подставив (5.36) в уравнение (5.30) аиплитуд получим:

или

(5.37), откуда имеем