I. Цели и задачи изучения дисциплины
Целью изучения дисциплины является формирование у студента профессиональных компетенций в области микро- и нанотехнологии, способствующих социальной мобильности, конкурентоспособности и устойчивости на отечественном и мировом рынке труда и основанных на усвоении современных представлений о физических основах процессов и методов, используемых в нанотехнологии и о свойствах и типах наноразмерных обектов микро- и наноэлектроники.
2. Место дисциплины в системе дисциплин учебного плана
Для студентов профиля «Физика нанотехнологий и наноразмерных структур» направления подготовки бакалавров 223200 «Техническая физика» дисциплина Б3.В.07 «Физические основы нанотехнологий» входит в вариативную часть профессионального цикла ООП
Дисциплина читается в 8-м семестре и опирается на знания, полученные при изучении предшествующих курсов «Электронные приборы», «Материаловедение и технология конструкционных материалов», «Физика твердого тела и полупроводников». Результаты изучения дисциплины необходимы для самостоятельной научно-исследовательской работы и подготовки выпускной работы бакалавра технической физики, а также для быстрой адаптации в первичной должности выпускника, работающего в области современных наукоемких технологий, и для его дальнейшего профессионального роста.
3. Основные дидактические единицы (разделы)
| № | Разделы дисциплины по РПД | Объем занятий, час | ||
| Л | ПЗ | СР | ||
| 1 | Введение | 1 | 1 | 1 |
| 2 | Технологические основы микроэлектроники | 6 | 3 | 6 |
| 3 | Переход к нанотехнологии – основная тенденция микроэлектроники | 8 | 2 | 3 |
| 4 | Технологические возможности для классического масштабирования МОП-структур в субмикронной области. | 5 | 2 | 4 |
| 5 | Эффекты короткого канала в МОП-транзисторе и технологические способы борьбы с ними. | 4 | 2 | 4 |
| 6 | Развитие технологии межэлементных соединений и упаковки ИС | 1 | 0 | 0 |
| 7 | МОП структуры с неклассической геометрией | 3 | 2 | 4 |
| 8 | Литография с субмикронным разрешением | 6 | 0 | 2 |
| 9 | Квантовые компьютеры и квантовые вычисления | 4 | 1 | 2 |
| 10 | Заключение | 1 | 0 | 0 |
| Общая трудоемкость 78 час | 39 | 13 | 26 | |
В результате изучения дисциплины студенты должны:
знать:
- физические основы, возможности и способы реализации нанотехнологий в технической физике;
- основные тенденции и перспективы развития современной технологии микро- и наноэлектроники;
- особенности применения новых материалов и технологических процессов в микро- и нанотехнологии.
уметь:
- критически оценивать достоинства, недостатки и области возможного применения новых материалов и технологических процессов;
- находить пути оптимального решения конкретных задач микро и нанотехнологии.
иметь навыки:
- подготовки рефератов по конкретным направлениям развития современной микро и нанотехнологии;
- устных сообщений о результатах проведенного анализа и участия в научной дискуссии.
Перечисленные цели и задачи имеют междисциплинарный характер и входят как составная часть в общие цели и задачи основной образовательной программы, обеспечивающей опережающую подготовку бакалавров и магистров с ориентацией на реальные потребности работодателей в квалифицированных и компетентных специалистах, владеющих наукоемкими технологиями мирового уровня.
4 Распределение объема учебной дисциплины по видам учебных занятий и формы контроля
| Виды занятий и формы контроля | 8-й сем. |
| Лекции (Л), час. | 39 |
| Практические занятия (ПЗ), час. | 13 |
| Самостоятельная работа (СР), час. | 26 |
| Курсовые проекты (КП), шт. | 1 |
| Зачеты, (З), шт. | 1 |
| Экзамены, (Э), шт. | 1 |
| Общая трудоемкость дисциплины составляет 78 часов | |
1.3.08 Дисциплина Б3.В.08 Измерительная техника
Общая трудоемкость дисциплины составляет 3 зач. ед. (88 часов)
1. Цели и задачи изучения дисциплины
Целью преподавания дисциплины является подготовка квалифицированных специалистов, способных на основе полученных знаний к активной творческой работе в области современной физической электроники как в научно-исследовательских учреждениях, так и в условиях промышленного производства.
2. Место дисциплины в рабочем учебном плане
Дисциплина Б3.В.08 «Измерительная техника» является дисциплиной вариативной части профессионального цикла ФГОС ВПО по профилю «Физика нанотехнологий и наноразмерных структур» направления подготовки бакалавров «Техническая физика» и изучается в двух семестрах (1 семестр – практические занятия, 2 семестр – лабораторный практикум). Дисциплина опирается на знания по физике и математике, полученные в средней школе и на 1-м курсе университета. Знания, умения и навыки, приобретенные в результате изучения дисциплины, закрепляются и углубляются в ходе изучения параллельных и последующих дисциплин Б2.В.03 «Физический практикум», Б3.Б.07 «Электроника и схемотехника», Б3.Б.08 «Метрология и физико-технические измерения», «Б3.Б.10 Экспериментальные методы исследований» и всех дисциплин вариативной части профессионального цикла, программы которых предусматривают проведение лабораторных работ, а также необходимы для самостоятельной научно-исследовательской работы и подготовки выпускной работы.
3. Основные дидактические единицы (разделы)
| № | Разделы дисциплины по РПД | Объем занятий, час | ||
| Лаб | ПЗ | СР | ||
| 1 | Измерение тока и напряжения | 3 | 5 | 4 |
| 2 | Измерение электрического сопротивления мостовым методом | 2 | 4 | 4 |
| 3 | Источники электрического напряжения и тока для физического эксперимента | 2 | 5 | 5 |
| 4 | Измерение температуры контактными методами | 2 | 4 | 4 |
| 5 | Электронно-лучевой осциллограф | 2 | 4 | 4 |
| 6 | Электронно-счетный частотомер. | 2 | 4 | 4 |
| 7 | Основы электронной спектроскопии. | 2 | 5 | 5 |
| 8 | Основы масс-спектрометрии. | 2 | 5 | 5 |
| Общая трудоемкость 88 час | 17 | 36 | 35 | |
В результате изучения дисциплины студенты должны:
знать:
- принципы и методики измерения основных физических величин;
- физические основы работы измерительных приборов разных типов;
- характеристики и параметры основных типов измерительных приборов, особенности их использования и применения для решения задач метрологии;
уметь:
- подобрать измерительный прибор и методику измерений, наиболее подходящие для решения конкретной научно-технической задачи;
- проводить обработку экспериментальных данных, оценивать точность и погрешность измерений;
- использовать измерительные приборы в оптимальных режимах работы;
владеть:
- навыками использования измерительных приборов различных типов;
иметь представление
- об основных перспективах дальнейшего развития измерительной техники и методик измерений.
4 Распределение объема учебной дисциплины по видам учебных занятий и формы контроля
| Виды занятий и формы контроля | 1-й семестр | 2-й семестр |
| Практические занятия, ч/нед | 2 | - |
| Лабораторные занятия, ч/нед | - | 1 |
| Самостоятельные занятия, ч/нед | 1 | 1 |
| Зачеты, шт/сем | 1 | 1 |
| Общая трудоемкость дисциплины составляет 88 час | 54 | 34 |
1.3.09 Дисциплина Б3.В.09 Основы менеджмента наукоемких производств