эллипсометрия отраженного света по дисциплине образовательно-профессиональной программе подготовки магистров по специализации 090102 02 “Физическое материаловедение для электроники и гелиоэнергетики” (стр. 5 из 5)

Рассчитаем частоту:

волновой вектор:

и величину d:

Затем рассчитаем коэффициенты отражения:

И, наконец, рассчитаем поляризационные углы:

Задавая толщину пленки как параметр, построим графики зависимостей поляризационных углов от величины комплексного показателя преломления пленки для различных толщин пленок, которая представлена на рисунках 4.2 и 4.3.

Список литературы.

1. Ржанов А.В., Свиташев К.К. и др. Основы эллипсометрии. – Новосибирск: Наука, 1979.

2. Алгоритмы и программы для численного решения некоторых задач эллипсометрии. Под. ред. Ржанова А.В. – Новосибирск: Наука, 1980.

3. Савельев В.И. Курс общей физики. Т. 2. Электричество и магнетизм.Волны. Оптика. – 3-е изд., испр. – М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит., 1988.

Nf – комплексный показатель преломления пленки;

Nkl^<0> – длина волны, мкм.

Рисунок 4.1 – Зависимость комплексного показателя преломления пленки золота от длины волны

Nf – комплексный показатель преломления пленки;

y1 – поляризационный угол при d₁ = 5 нм;

y2 – поляризационный угол при d₂ = 25 нм;

y3 – поляризационный угол при d₃ = 50 нм;

y4 – поляризационный угол при d₄ = 75 нм;

y5 – поляризационный угол при d₅= 100 нм.

Рисунок 4.2 – Зависимость поляризационного угла y от величины комплексного показателя преломления пленки для различных толщин пленок

Nf – комплексный показатель преломления пленки;

D1 – поляризационный угол при d₁ = 5 нм;

D2 – поляризационный угол при d₂ = 25 нм;

D3 – поляризационный угол при d₃ = 50 нм;

D4 – поляризационный угол при d₄ = 75 нм;

D5 – поляризационный угол при d₅= 100 нм.

Рисунок 4.3 – Зависимость поляризационного угла D от величины комплексного показателя преломления пленки для различных толщин пленок