3. Колобов Н.А. Основы технологии электронных приборов. - М.: Высшая школа, 1980. - 300 с.
4. Стефани Е.П. Основы построения АСУТП.-М.: Энергоиздат, 1982. - 308 с.
5. Анурьев Ю.Ф. Справочник конструктора машиностроителя. - М.: Машиностроение, 1985. - 808 с.
6. Технологичность конструкции изделия. Справочник // Под ред. Амирова А.Д. - М.: Машиностроение, 1990. - 800 с.
7. Кошкин В.Л. Аппаратные системы ЧПУ. - М.: Машиностроение, 1989.
8. Рура М.А. Сборник задач по технологии для операторов станков с программным управлением. - М.: Высшая школа, 1991. - 125 с.
9. Денисов А.А, Нагорный В.М. Пневматические и гидравлические устройства автоматики. – М.: Машиностроение, 1983. - 250 с.
10. Берденс Т.К.,Ефремова Т.К.,Тагаевская А.А. Элементы и схемы пневмоавтоматики. – М.: Машиностроение, 1987. - 310 с.
Дополнительная литература
1. Черняев В.Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА. - М.: Высшая школа, 1987. - 370 с.
2. Данилин Б.С. Получение тонкопленочных элементов микросхем. - М.: Энергоиздат, 1981. - 414 с.
3. Пипко А.И. и др. Основы вакуумной техники. - М.: Энергоиздат, 1981. - 411 с.
4. Пипко А.И. и др. Конструирование и расчет вакуумных систем. - М.: Энергоиздат, 1979. - 520 с.
5. Кучеренко Е.Т. Справочник по физическим основам вакуумной техники. - Киев: Высшая школа, 1981. - 318 с.
6. Периодические издания (журналы):
"Автоматика и телемеханика";
"Электронная промышленность";
"Компьютер пресс";
“Приборы и техника эксперимента (ПТЭ)”;
“Физика и химия обработки материалов”.
“Микроэлектроника”
“Техническая эстетика”
Автоматика и прогрессивные технологии
Журнал технической физики
Бюллетень изобретений, описания авторских свидетельств.
В качестве дополнительной литературы могут использоваться источники с ключевыми словами: вакуум, пленки, ион, электрон, технология, автоматика.