Полупроводниковые пластины. Методы их получения (стр. 14 из 21)
Ðàçðàáîòàíî íåñêîëüêî ñïîñîáîâ îöåíêè è êîíòðîëÿ æåñòêîñòè êðóãà. Íàèáîëåå ïðîñòîé èç íèõ îñíîâàí íà èçìåðåíèè äèàìåòðà âíóòðåííåãî îòâåðñòèÿ êðóãà. Çà ñ÷åò ðàñòÿæåíèÿ ìàòåðèàëà êîðïóñà êðóãà ïðè åãî óñòàíîâêå äèàìåòð âíóòðåííåãî îòâåðñòèÿ óâåëè÷èâàåòñÿ íà 0,5-1,0% åãî èñõîäíîãî çíà÷åíèÿ. Èçìåðÿÿ óâåëè÷åíèå äèàìåòðà âíóòðåííåãî îòâåðñòèÿ ñïåöèàëüíûì èíäèêàòîðîì è äîâîäÿ åãî äî çàäàííîãî çíà÷åíèÿ, äîáèâàþòñÿ òðåáóåìîé æåñòêîñòè êðóãà. Ìîæíî îöåíèòü æåñòêîñòü êðóãà ïî åãî ïðîãèáó ïîä äåéñòâèåì ñîñðåäîòî÷åííîé íàãðóçêè.
Íàèáîëåå îáúåêòèâíóþ îöåíêó æåñòêîñòè ïîçâîëÿåò ïðîèçâåñòè ñïîñîá, îñíîâàííûé íà èçìåðåíèè ñîáñòâåííîé ÷àñòîòû êîëåáàíèé íàòÿíóòîãî êîðïóñà. Èçìåíåíèå æåñòêîñòè êðóãà âûçûâàåò èçìåíåíèå åãî ñîáñòâåííîé ÷àñòîòû êîëåáàíèé, ÷òî ïðîÿâëÿåòñÿ, íàïðèìåð, ïðè èçìåíåíèè âûñîòû çâóêà, âîçíèêàþùåãî ïðè ëåãêîì ïîñòóêèâàíèè ïî êðóãó.
Ðèñ. 7. Ñõåìà ðåçêè ñëèòêà êðóãîì
ÀÊÂÐ:
1 - круг АКВР, 2 - барабан,
3 - слиток, 4 - оправка, 5 - клеящая мастика
Èçìåðåíèå ñîáñòâåííîé ÷àñòîòû êîëåáàíèé íàòÿíóòîãî êðóãà îñóùåñòâëÿþò ñ ïîìîùüþ ñïåöèàëüíîãî ïðèáîðà, ñîñòîÿùåãî èç áåñêîíòàêòíîãî âîçáóäèòåëÿ êîëåáàíèé (ýëåêòðîäèíàìè÷åñêîãî ãðîìêîãîâîðèòåëÿ), áåñêîíòàêòíîãî äàò÷èêà è èçìåðèòåëüíîãî áëîêà. ×àñòîòà âîçáóæäàþùèõ êîëåáàíèé çàäàåòñÿ ãåíåðàòîðîì íèçêîé ÷àñòîòû. Ïî ìàêñèìàëüíîìó ïîêàçàíèþ èíäèêàòîðà óñòàíàâëèâàåòñÿ ìîìåíò ñîâïàäåíèÿ ÷àñòîòû ãåíåðèðóåìûõ êîëåáàíèé ðåçîíàíñíîé ÷àñòîòîé êðóãà. Îïòèìàëüíûå ÷àñòîòû ñîáñòâåííûõ êîëåáàíèé êðóãîâ ñ êîðïóñàìè òîëùèíîé 0,1 ìì, èçãîòîâëåííûõ èç ñòàëè ìàðêè 12Õ18Í10Ò, ñëåäóþùèå: êðóã ÀÊÂÐ 206X83- 1100-1200 Ãö; ÀÊÂÐ 305XIOO-800-850 Ãö, AKBP 422Õ X 152 - 550-600 Ãö.
Ðàçðåçàåìûé ñëèòîê çàêðåïëÿþò íà ñïåöèàëüíîé îïðàâêå, ïðè÷åì ñïîñîá êðåïëåíèÿ çàâèñèò îò òîãî, êàê èçâëåêàþò èç çîíû îáðàáîòêè îòðåçàííûå ïëàñòèíû.Åñëè ïëàñòèíà ïîñëå îòðåçàíèÿ îò ñëèòêà ïàäàåò â çàïîëíåííûé âîäîé ñáîðíûé ëîòîê, òî ñëèòîê êðåïÿò òîëüêî îäíèì òîðöîì ê îïðàâêå. Îäíàêî òàêîé ñïîñîá ïðèâîäèò ê áîþ áîëüøîãî êîëè÷åñòâà ïëàñòèí, òàê êàê äîâîëüíî ëåãêàÿ ïëàñòèíà ìîæåò ïðèëèïíóòü ê ñìî÷åííîìó êîðïóñó êðóãà è ðàçáèòüñÿ ïðè åãî áûñòðîì âðàùåíèè. Äëÿ òîãî ÷òîáû èñêëþ÷èòü ïðèëèïàíèå îòðåçàåìîé ïëàñòèíû, åå ïîääåðæèâàþò âàêóóìíîé ïðèñîñêîé, êîòîðàÿ ôèêñèðóåò åå â ïðîöåññå îòðåçàíèÿ è ïåðåíîñèò â ñáîðíûé ëîòîê èëè íà ëåíòó òðàíñïîðòåðà. Âêëþ÷åíèå è ïåðåìåùåíèå âàêóóìíîé ïðèñîñêè îñóùåñòâëÿþòñÿ àâòîìàòè÷åñêè.
Îòðåçàííûå ïëàñòèíû ìîãóò óäåðæèâàòüñÿ íà îïðàâêå êëåÿùåé ìàñòèêîé, íàíåñåííîé íà îáðàçóþùóþ ñëèòêà. Äîñòàòî÷íî òîëñòûé è øèðîêèé ñëîé ìàñòèêè óäåðæèâàåò îòðåçàííûå ïëàñòèíû áåç îïðàâêè (ðèñ. 8).
Ïðè íàêëåèâàíèè òîðöà ñëèòêà 1 íà îïðàâêó îáû÷íî èñïîëüçóþò øåëëàê èëè ýïîêñèäíóþ ñìîëó. Øåëëàê- ýòî ïðèðîäíîå îðãàíè÷åñêîå âåùåñòâî, èìåþùåå ïëàñòèí÷àòîå ñòðîåíèå. Îí ïëàâèòñÿ ïðè 75-90°Ñ è ðàñòâîðÿåòñÿ â ýòèëîâîì ñïèðòå. Îïðàâêó íàãðåâàþò äî òåìïåðàòóðû ïëàâëåíèÿ øåëëàêà è «àíîñÿò åãî òîíêèé ñëîé. Çàòåì ñèëüíî ïðèæèìàþò ñëèòîê ê îïðàâêå, âûäàâëèâàÿ èçëèøêè øåëëàêà, è îõëàæäàþò. Ýïîêîèäíàÿ ñìîëà-ýòî ñèíòåòè÷åñêîå âåùåñòâî, îáëàäàþùåå â òâåðäîì ñîñòîÿíèè âûñîêîé ìåõàíè÷åñêîé ïðî÷íîñòüþ. Ïîñëå ñìåøèâàíèÿ ýïîêñèäíîé ñìîëû ñ îòâåðäèòåëåì ïîëó÷åííóþ ñìåñü íàíîñÿò íà îïðàâêó, ïðèæèìàþò ê íåé ñëèòîê è ïîìåùàþò èõ â òåðìîñòàò.  òåðìîñòàòå îïðàâêó ñî ñëèòêîì âûäåðæèâàþò ïðè 120-150°Ñ â òå÷åíèå 1,5-2 ÷, ïîñëå ÷åãî îõëàæäàþò. Îáû÷íî èñïîëüçóþò ýïîêñèäíóþ ñìîëó ìàðîê ÝÄ-16 èëè ÝÄ-20. Ïåðåä íàêëåéêîé ïîâåðõíîñòü îïðàâêè è òîðåö ñëèòêà îáåçæèðèâàþò îðãàíè÷åñêèìè ðàñòâîðèòåëÿìè è ïðîòèðàþò.