Íåäîñòàòîê ñêðóááèðîâàíèÿ çàêëþ÷àåòñÿ â òîì, ÷òî ùåòêè íå ìîãóò ïðîíèêàòü â óãëóáëåíèÿ è íåðîâíîñòè ìèêðîííûõ ðàçìåðîâ. Ïîýòîìó íàèáîëüøåå ðàñïðîñòðàíåíèå ïîëó÷èë ñïîñîá î÷èñòêè, ñî÷åòàþùèé îòìûâêó êèñòÿìè è ïðîìûâêó ñòðóåé ðàñòâîðèòåëÿ èëè äåèîíèçîâàííîé âîäû. Äàâëåíèå æèäêîñòè â ñòðóå ðåãóëèðóåòñÿ è äîñòèãàåò 3*107 Ïà.
Îðãàíè÷åñêèå ïëåíêè ñ ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí óäàëÿþò ñ ïîìîùüþ îðãàíè÷åñêèõ ðàñòâîðèòåëåé: òðèõëîðýòèëåíà, õëîðèñòîãî ìåòèëåíà, õëàäîíà, òîëóîëà, êñèëîëà, ìåòèëîâîãî, ýòèëîâîãî èëè èçîïðîïèëîâîãî ñïèðòà, àöåòîíà, óàéò-ñïèðèòà è äð. Ïëàñòèíû îáðàáàòûâàþò â æèäêîì ðàñòâîðèòåëå ëèáî â åãî ïàðàõ. Âîçìîæíî òàêæå ñî÷åòàíèå ïàðîâîé è æèäêîñòíîé îáðàáîòîê. ×àñòî ðàñòâîðèòåëü äîâîäÿò äî êèïåíèÿ, ïîñëå ÷åãî ïðîèçâîäÿò î÷èñòêó. Øèðîêî èñïîëüçóþò óëüòðàçâóêîâóþ î÷èñòêó ïëàñòèí â îðãàíè÷åñêèõ ðàñòâîðèòåëÿõ. Ïðè òàêîì ñïîñîáå î÷èñòêè â âàííó ñ ðàñòâîðèòåëåì ïîìåùàþò èçëó÷àòåëè óëüòðàçâóêîâûõ êîëåáàíèé, ïîä äåéñòâèåì êîòîðûõ â æèäêîñòÿõ îáðàçóþòñÿ ìåëü÷àéøèå ïóçûðüêè, îáëàäàþùèå âûñîêîé ïðîíèêàþùåé ñïîñîáíîñòüþ è ñïîñîáñòâóþùèå îòäåëåíèþ çàãðÿçíåíèé îò ïîâåðõíîñòè.
Ââèäó òîêñè÷íîñòè îðãàíè÷åñêèõ ðàñòâîðèòåëåé øèðîêîå ïðèìåíåíèå íàõîäÿò âîäíûå ìîþùèå ðàñòâîðû. Ðàñòâîðûùåëî÷åé ðàçëàãàþò ðàñòèòåëüíûå è æèâîòíûå æèðû ïðè 80-100°Ñ, ïðè÷åì ïðîäóêòû ðàçëîæåíèÿ ëåãêî ðàñòâîðÿþòñÿ è ñìûâàþòñÿ âîäîé. Ìèíåðàëüíûå ìàñëà óäàëÿþò 0.5-1.0 %-íûìè ðàñòâîðàìè ïîâåðõîñòíî-àêòèâíûõ âåùåñòâ.
Àòîìíûå è èîííûå çàãðÿçíåíèÿ, êàê ïðàâèëî, óäàëÿþò ïðîìûâêîé â êèñëîòàõ è äåèîíèçîâàííîé âîäå. Ïðîììâêà â êèñëîòàõ ïîçâîëÿåò óäàëèòü àäñîðáèðîâàííûå èîíû ìåòàëëîâ è ðàñòâîðèòü îêñèäíûå ïëåíêè íà ïîâåðõíîñòè ïîëóïðîâîäíèêîâ. ×àùå âñåãî èñïîëüçóþò àçîòíóþ, ïëàâèêîâóþ, ñåðíóþ, ñîëÿíóþ, óêñóñíóþ è ôîñôîðíóþ êèñëîòû. Ïðîöåññ îòìûâêè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí äåèîíèçîâàííîé âîäîé âåäóò, ïîñòîÿííî èçìåðÿÿ ýëåêòðè÷åñêîå ñîïðîòèâëåíèå âîäû. Ïî ìåðå ñíèæåíèÿ êîíöåíòðàöèè ïðèìåñåé ñîïðîòèâëåíèå âîäû ïîñòåïåííî ïîâûøàåòñÿ. Ïðè óñòàíîâëåíèè ïîñòîÿííîãî ñîïðîòèâëåíèÿ âîäû ïðîöåññ îòìûâêè ñ÷èòàåòñÿ çàêîí÷åííûì.
Êðîìå êèñëîò äëÿ óäàëåíèÿ èîííûõ çàãðÿçíåíèé èñïîëüçóþò âîäíûå ðàñòâîðû, ñîäåðæàùèå ïåðåêèñü âîäîðîäà è àììèàê. Îáðàáîòêó òàêèìè ðàñòâîðàìè âåäóò â òå÷åíèå 10-20 ìèí ïðè 75- 80 Ñ.
Ïîñëå îòìûâêè ïëàñòèí â æèäêîñòè èõ íåîáõîäèìî ïðîñóøèòü. Îáû÷íî ïîñëå îáðàáîòêè â âîäíûõ ðàñòâîðàõ ïëàñòèíû îáðàáàòûâàþò â îðãàíè÷åñêèõ ðàñòâîðèòåëÿõ, êîòîðûå ëåã÷å è íàäåæíåå î÷èùàþòñÿ îò ïðèìåñåé, ÷åì âîäà. Ïîýòîìó ñóøêó ëó÷øå ïðîèçâîäèòü ïîñëå ôèíèøíîé îòìûâêè, íàïðèìåð, â àöåòîíå èëè ýòèëîâîì ñïèðòå. Ñóøêó íàãðåâîì â òåðìîñòàòàõ èëè ïîä èíôðàêðàñíûìè ëàìïàìè ïðèìåíÿþò â òîì ñëó÷àå, êîãäà ê ïîâåðõíîñòè ïðåäúÿâëÿþò ñðàâíèòåëüíî íèçêèå òðåáîâàíèÿ, òàê êàê ïðè èñïàðåíèè ñ ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí íà íèõ îñòàþòñÿ ðàñòâîðåííûå â ïëåíêå æèäêîñòè ïðèìåñè. Áîëåå êà÷åñòâåííóþ ñóøêó ïëàñòèí ïðîèçâîäÿò öåíòðèôóãèðîâàíèåì èëè îáäóâîì ãîðÿ÷èì î÷èùåííûì ãàçîì.  ýòèõ ñëó÷àÿõ çíà÷èòåëüíàÿ ÷àñòü æèäêîñòè ñäóâàåòñÿ ñ ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí âìåñòå ñ ðàñòâîðåííûìè â íåé ïðèìåñÿìè.