Фізико-технологічні основи одержання чутливих елементів для датчиків газів (стр. 6 из 11)
| Назва датчику/виробник | Вид газу | Діапазон чутливості |
| TGS813 /Figaro Engineering Inc. | пропан | 500-1000 ppm |
| TGS842 /Figaro Engineering Inc. | CH4 | 500-10000 ppm |
| TGS821/ Figaro Engineering Inc. | H2 | 50-1000 ppm |
| TGS203/ Figaro Engineering Inc. | CO | 50-1000 ppm |
| TGS826 /Figaro Engineering Inc. | NH4 | 30-300 ppm |
| TGS825/ Figaro Engineering Inc. | H2S | 5-100 ppm |
| TGS2104 /Figaro Engineering Inc. | Вихлопи бензину | 10-100 ppm |
| TGS2105/Figaro Engineering Inc. | Вихлопи дизелю | 0.1-1 ppm |
| TGS822/ Figaro Engineering Inc. | Пари алкоголю | 50-5000 ppm |
| TGS830 /Figaro Engineering Inc. | фреони | 100-3000 ppm |
| IAQ-100 /AppliedSensor Inc. | CO2 | 350 - 2000 ppm |
| AS-MLC /AppliedSensor Inc. | CO | 0.5 - 500 ppm |
| AS-MLK /AppliedSensor Inc. | CH4 | Від 0.01 до 4% |
2. Сучасні датчики газів, та методи їх отримання
2.1 Нові матеріали та наноструктури – перспективна база елементів для датчиків газів
В зв’язку з інтенсивним розвитком виробництва поверхневих датчиків газів, досліджуються придатні для їх побудови сучасні напівпровідникові матеріали та структури з якісно новими властивостями. Що стосується сучасних матеріалів, слід відмітити перспективність використання напівпровідникових матеріалів на основі GaN, вуглецю. Що стосується нових структур, тут слід відмітити явну тенденцію в використанні так званих квантово-розмірних стуктур - наноструктур. Особливість наноструктур полягає в тому, що в таких структурах проявляються так звані квантоворозмірні ефекти, які пов’язані з лінійними розмірами елементів структур. Як сама назва нано- говорить, один або більше лінійних розмірів такої структури має порядок нанометрів. Кількісна зміна розмірів структури призводить до появи якісно нових фізичних властивостей – квантових ефектів, наприклад, електронний (дірковий) газ стає дво-, одно-, та нульмірним що часто призводить до більш виразних залежностей між фізичними параметрами структури. Окрім квантових ефектів зменшення лінійних розмірів призводить до росту співвідношення поверхня/об’єм, що також може генерувати більш виразні відносні зміни параметрів (наприклад, провідності) напівпровідника. Сукупність таких ефектів може в значній мірі підвищити чутливість датчиків газів. Нижче приведено деякі з новіших детекторів газів.
2.2 Датчики газів на основі нових матеріалів та наноструктур
Як було показано вище, досить відомим у якості матеріалу які використовуються в газовій детекції є оксиди металів, наприклад In2O3. Їх основна область використання- детекція NOx (NO та NO2).
В [7] показано чутливість на NОx сильнотекстурованої (Рис.12 ) плівки In2O3 отриманої методом MOCVD (осадження металлорганічних сполук із газової фази). Дана структура надзвичайно чутлива на парціальний тиск NOx (Рис.13), а також на робочу температуру (Рис.14)
 |  |  |
| Fig. Рис.12 Фотографія вивисокотекстурованої поверхні поверхні плівки bc- In2O3 нанесеної на сапфір (0. [7] | Рис.13. Зміна опору плівка в часі від питомого тиску 0.002,0.004, 0.008, 0.01, 0.05, 0.15, 0.5, 1, 10 mбар NOx при кімнатній температурі. [7] | Рис.14 Вплив температури на часову залежність нормалізованого опорупри 0.01 mбар NOx. [7] |
Показано, що такий датчик придатний і для детекції кисню, але його чутливість на кисень значно нижча (Рис.15,16).