Эксимерные лазеры (стр. 7 из 7)

Рассчитываем решетку на основную длину волны

нм, работающую во втором порядке, с периодом

нм.

Из основного уравнения дифракционной решетки видно, что

и, следовательно, угол дифракции

. При таком соотношении углов

телескопичность

Оценим полосу пропускания резонатора с такой решеткой:

пм

пм.

Отметим, что для дальнейшего сужения полосы возможно применение эталона Фабри-Перо, полоса пропускания которого

, где

- резкость идеального эталона Фабри-Перо,

- коэффициент отражения зеркал эталона. Но любое дополнительное средство сужения полосы пропускания будет приводить к снижению КПД системы. Итак, можно сделать выводы.

Литература

1. Звелто О. "Принципы лазеров". М.: Мир, 1990г.

2. п. р. Роудза Ч. "Эксимерные лазеры". М.: Мир, 1981г.

3. Ed. Dr. D. Basting “Excimer Laser Technology: Laser Sources, Optics, Systems and Applications"

4. Баранов В.Ю., Борисов В.М., Степанов Ю.Ю. "Электроразрядные эксимерные лазеры на галогенидах инертных газов". М.: Энергоатомиздат, 1988г.

5. Рябов С.Г. "Приборы квантовой электроники".

6. Пахомов И.И., Рожков О.В., Рождествин В.Н. "Оптико-электронные квантовые приборы". М:. Радио и связь, 1982г.

7. Официальный сайт фирмы LambdaPhysik: www.lambdaphysik.com

8. Ralph F. Delmdahl “Pulsed Excimer Lasers For Thin Film Applications”, Lambda Physik AG

9. Официальный сайт фирмы GamLaserswww.gamlasers.com

10. Соскин М.С. "Перестраиваемые лазеры"