Достоинством является простота конструкции, возможность применения для измерения давления любых газов и паров. Недостатками таких вакуумметров являются инерционность и изменение во времени тока накала металлической нити, что требует их периодической регулировки.
Ионизационные вакуумметры имеют преобразователь, принцип действия которого основан на прямой зависимости между давлением и током, образующимся в результате ионизации молекул остаточных газов.
Магнитные электроразрядные вакуумметры имеют преобразователь принцип действия которого основан на зависимости тока самостоятельного газового разряда, возникающего в скрещенных магнитном и электрическом полях от давления.[5]
Заключение
Вакуумная техника занимает важное место в производстве пленочных структур ИМС. Для создания вакуума в рабочей камере из нее должны быть откачены газы. Идеальный вакуум не может быть достигнут, и в откаченных рабочих камерах технологических установок всегда присутствует некоторое количество остаточных газов, чем и определяется давление в откаченной камере.
пленка вакуум испарение насос
Литература
1. Сушенцов Н.И, Филимонов В.Е. «Основы технологии микроэлектроники». Йошкар-Ола, 2003. стр. 132.
2.Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6. Минайчев В.Я. «Нанесение пленок в вакууме». Москва, «Высшая школа» 1989. Стр. 112.
3. Епифанов Г.И. «Физические основы конструирования и технологии РЭА и ЭВА».
[1] Епифанов Г.И. «Физические основы конструирования и технологии РЭА и ЭВА». стр.59.
[2] Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6. Минайчев В.Я. «Нанесение пленок в вакууме». стр16-17.
[3] Сушенцов Н.И Филимонов В.Е. «Основы технологии микроэлектроники». Стр. 9-10.
[4] Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6. Минайчев В.Я. «Нанесение пленок в вакууме». стр17-22.
[5] Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Книга 6. Минайчев В.Я. «Нанесение пленок в вакууме». Стр60-76.