Моделирование процессов ионной имплантации (стр. 3 из 3)
Коэффициенты, учитывающие торможение, обусловленное ядерным электронным взаимодействием:
Параметры, учитывающие торможение, обусловленные ядерным взаимодействием, с=0.45, d=0.3.
Собственная концентрация атомов в кристалле N2, см-3, заряды ядер иона Z1, атомов мишени Z2.
Профили распределения концентрации внедренных ионов определяются характером распределения средних нормальных пробегов по глубине облученного слоя. Пучок ионов, попадая в такие вещества, испытывает случайные столкновения с атомами, и распределение пробегов описывается законом распределения случайной величины. Аналогичная ситуация наблюдается и в монокристаллах, если ионный пучок попадает на произвольную ориентированную поверхность пластины относительно кристаллографических направлений с малыми индексами, например вдоль оси (763). Такое внедрение называют не ориентированным. В этом случае профиль внедренных атомов описывается, как и для аморфных веществ, кривой Гаусса:
Максимум концентрации примеси в отличие от случая введения ее методом диффузии залегает не на поверхности, а на глубине x=Rp:
Задача№2:
К примеру, для создания транзистора типа n-p-n в эпитаксиальный слой с электропроводностью n- типа производят последовательную имплантацию ионов акцепторной примеси с энергией Еа и дозой Nа для формирования базовой области и ионов донорной примеси с энергией Ед и дозой Nд для формирования эмиттера, причем Rpa>Rpd, а Cmax a < Cmax d. Суммарное распределение примеси описывается выражением:
Глубину залегания коллекторного перехода определяем из условия:
откуда
где
Глубину залегания эмиттерного перехода с учетом того, что С(Xjэ) >>Cb, определяем из условия:
откуда
где
4. Программное обеспечение:
Разработанная расчетно-информационная система предназначена для работы в среде Windows. Windows разработана корпорацией Microsoft,дата первого поступления в продажу 1995 год и крупнейшие мировые компании организовали выпуск различных приложений, использующих богатые возможности новой операционной системы.
Эффективность работы компьютера определяется не только его аппаратным обеспечением: моделью процессора, размерами жесткого диска, оперативной памяти и т. п., но и установленной на нем оперативной системой. Оперативная система это программа, которая осуществляет управление всеми устройствами компьютера и процессом обработки на нем информации.
Windows 95/98 представляет собой высокопроизводительную, многозадачную и многопоточную 32-разрядную операционную систему с графическим интерфейсом и расширенными сетевыми возможностями. Она работает в защищенном режиме и предназначена для настольных и персональных компьютеров. Операционная система Windows позволяет более полно использовать потенциал персонального компьютера.
Многозадачность означает, что можно работать с несколькими программами одновременно. Многопоточное выполнение отдельной задачи позволяет при задержке в выполнении одного потока работать со следующим. Под потоком подразумевается последовательность команд, составляющих отдельную частную задачу, решаемую внутри общей задачи (процесса).
Операционная система разработанная фирмой Microsoft обеспечивает большое количество возможностей и удобств для пользователей. Широкое распространение Windows сделало ее фактически стандартов для IBM PC совместимых компьютеров.
Поставщики программного обеспечения для ряда отраслей промышленности переходят на Windows 95, сокращая разработки для MS-DOS.
Кратко перечислю основные преимущества Windows 95 по сравнению с широко распространенной операционной системой MS-DOS:
* возможность параллельного (независимого) выполнения программ одновременно;
* легкость переключения из одной программы в другую;
* автоматизация обмена информации между различными программами, например, рисунок , полученный в графической программе, можно легко вставить в текст, созданный с использования текстового процессора;
* облегчение доступа к программам и документам за счет использования раскрывающихся меню;
* нет необходимости запоминать имена программ и документов, так как для их обозначения используются графические символы-значки;
* увеличения объема памяти за счет использования свободного пространства на жестком диске;
* защищенность прикладных программ друг от друга в случае некорректных действий одной из них.
Для разработки приложений существуют три варианта Delphi:
1. Client/Server Suite- средство создания приложений, рассчитанное на использование в организациях, где требуются высокопроизводительные, масштабируемые приложения, которые используют данные хранимые средствами управления серверами.
2. Desktop- предназначен для индивидуальных программистов.
3. Developer - ориентирован на профессиональных разработчиков.
Для реализации поставленной задачи мною был использован продукт фирмы Borland Delphi Developer версии 3.0. Delphi 3.0 представляет собой 32-битовую версию популярного средства разработки приложений для Windows 95/ WindowsNT.
Выбор определялся сравнением характеристик вариантов Delphi. Наиболее приемлемые для создания расчетно-информационной системы оказались именно у Delphi Developer 3.0.
5. Техническое обеспечение:
В результате расчета и компьютерного программирования использовалось руководство пользователя: «Программирование в среде Delphi 4.0”, автор Архангельский.
6. Результаты расчета:
Результаты расчета представлены в ПРИЛОЖЕНИИ…
7. Заключение:
В данном программном проекте представлены задачи, которые удовлетворяют всем правилам и параметрам расчетов процесса ионной- имплантации, а также представлены в наглядном виде все процессы расчета данных структур, указанных в дипломном проекте.
8. Литература:
1. Архангельский «Программирование в среде Delphi 4.0».
2. А. И. Курносов, В. В. Юдин «Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем».
3. Программирование в среде Turbo Pascal v. 7.0.