Смекни!
smekni.com

Комплект технологической документации по оптической контактной литографии (стр. 8 из 8)

В табл. 5 приведены результаты сравнения 3х типов литографических процессов. Реальная ширина экспонируемой линии, примерно в 4 раза превышает точность совмещения.

Таблица 2. Сравнение экспонирующего оборудования,

и соответствующих ему шаблонов и резистов.

Контакт Электронный луч Рентгеновское излучение
Минимальный размер 1 5 4
Производительность 4 1 1
Стоимость и простота шаблона 2 3 1
Чувствительность к рельефу 2 4 4
Простота резиста и его стоимость 4 1 1
Стоимость оборудования 5 1 2
Простота управления 5 4 3
Восприимчивость к дефектам 1 4 4
Перспективы развития для субмикронной литографии 1 5 3
Общий балл 26 32 26
Место 4 1 4

Ключом к высокопроизводительной и качественной литографии являются высококачественные стойкие шаблоны, которые способны выдерживать термические и механические напряжения. Возможность изготовления маски с резкостью края лучше чем 1/10 воспроизводимого размера, обеспечения достаточной плоскости шаблона и сохранения ее, а также рисунка неизменным во время экспонирования.

Список литературы

А. И. Курносов, В. В. Юдин – Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем 1986 г.

Ю. В. Панфилов Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы.

ЗАО "Фраст-М" каталог фоторезистов.

ЗАО "Фраст-М" фоторезист позитивный ФП-383 ТУ 2378-005-29135749-2007 характеристики и применение.

Ostec micro каталог продукции – установки для литографических процессов.

Установка отмывки полупроводниковых пластин Ostec ADT 976 руководство по эксплуатации.

Установка нанесения, проявления и снятия фоторезиста Ostec EVG®101 руководство по эксплуатации.

Установка прецизионного двухстороннего совмещения и экспонирования Ostec EVG620 руководство по эксплуатации.

Nikon каталог продукции – Микроскопы для исследования полупроводниковых пластин.

Прямой моторизированный инспекционный микроскоп Nikon Eclipse L200А руководство по эксплуатации.

Sawatec каталог продукции – температурные установки.

Установка сушильная Sawatec HP 150 руководство по эксплуатации.